[VIP第1年] 指数:3
探针台是用于检测每片晶圆上各个芯片电信号，保证半导体产品品质的重要检测设备。因为我们需要知道器件真正的性能，而不是封装以后的，虽然可以去嵌，但还是会引入一些误差和不确定性。因为我们需要确定哪些芯片是好的芯片来降低封装的成本并提高产量。因为有时我们需要进行自动化测试，在片进行自动化测试成本效益高而且更快。一个典型的在片测试系统，主要包括：矢量网络分析仪，线缆，探针，探针定位器，探针台，校准设备及软件，电源偏置等。探针尖如果氧化，接触电阻变大。上海芯片探针台机构
下面我们来简单讲讲选择探针台设备时需要注意事项：一、机械加工精度；二、电学量测精度三、环境要求，如：真空环境、高温、低温环境、磁场环境及其它。四、光学成像；五、自动化控制精度。总体而言，具有清晰并高景深的微观成像，再通过准确的探针装置对探针进行多方向移动，对准量测点，进行信号加载，通过高精度线缆将所需测试数据传输至量测仪表，以达到所需得到的分析数据，所以，如果想得到高质量的分析数据，从成像到点针，再到数据传输每项步骤都会起到重要的作用，另外振动对精度也有一定的影响。上海芯片测试探针台服务芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片集成电路上进行的电学参数测量。
磁场探针台主要用于半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电、磁学特性测试，能够提供磁场或变温环境，并进行高精度的直流/射频测量。我们生产各类磁场探针台，稳定性强、功能多样、可升级扩展，适用于各大高校、研究所及半导体行业的实验研究和生产。详细参数：二维磁场探针台，包含两组磁铁，可同时提供垂直与面内磁场；面内磁铁极头间距可根据样品尺寸调整以获得大的磁场，兼容性强；大兼容7组探针（4组RF，3组DC同时测试使用）；Y轴提供大行程位移装置，在不移动探针情况下快速抽拉更换样品；配备样品台倾斜微调旋钮，确保样品平面平行于面内磁场方向；至多支持7组探针同时放置：直流探针（3组）+微波探针（4组）；XY轴位移行程±12.5mm，T轴旋转±5°；面内磁场单独施加时，磁场垂直分量优于0.025%。
主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台(低温探针台)，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类。平面电机应使用在环境温度15～25℃，相对湿度小于50％的环境中。
探针台工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动。上海手动探针台哪里有
探针台是半导体（包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器）行业重要的检测装备之一。上海芯片探针台机构
探针台主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动。从功能上来区分有：高温探针台，低温探针台，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡／探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即：平面电机型x-y工作台（又叫磁性气浮工作台）自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。上海芯片探针台机构
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